近日,河南黃河旋風股份有限公司碳化硅切割專用金剛線鋸研發取得突破,經多家客戶使用,其產品性能已完全達到甚至超過日本同類產品水平,不論在切割效率、切割質量還是切割穩定性,均全面優于現有砂漿切割水平。
近年來,以氮化鎵、碳化硅為代表的第三代半導體產業發展迅猛,國家高度重視,企業積極布局,整個行業呈現爆發式的增長勢頭。碳化硅材料作為第三代半導體之一,具有優異的性能,同時也具有難加工的特點,其超高的硬脆性特點導致加工難度大、風險高、效率低、良品率不高,尤以切割為難點。目前市場上主要以金剛石砂漿切割為主,切割速度慢,效率低,砂漿利用率低,成本居高不下,砂漿用微粉供應已達極限,固結金剛線替代砂漿切割已成必然趨勢。
目前市場上能夠穩定供應的碳化硅切割線僅有日本某企業,在美日等國對我國芯片行業打壓的大背景下,碳化硅切割金剛線的國產化就特別迫切。然而碳化硅晶圓價值高,要求切割低風險、高質量,對金剛線的質量要求就極為嚴苛。
黃河旋風作為超硬材料龍頭企業,充分發揮全產業鏈覆蓋的優勢,多部門協同研發,利用其從日本住友引進吸收的金剛線設備和技術,深入開展金剛石線鋸對碳化硅的切割機理研究,重點對切割中金剛石的失效機理進行深入挖掘,適配了專用金剛石及微粉,確保了該產品優異的切割能力以及材料、產品質量的穩定性。
黃河旋風碳化硅切割專用金剛線線徑均勻、線絲圓度好、磨料分布均勻、出刃高。
在6英寸絕緣型及導電型碳化硅晶體的切割過程中,線弓小、無斷線,切割后晶面平整無線紋,切割用線量介于500-800m/片。
經多家客戶的切割使用驗證,切割后線徑磨損均勻,均取得穩定的切割數據,且可獲得同等于砂漿切割的晶片質量,可大幅提升切割效率降低生產成本。