摘要 原理:利用超短脈沖/連續(xù)激光聚焦能量,使金剛石表面局部熔化、蒸發(fā)或發(fā)生相變(如石墨化),通過材料重排或氣化降低粗糙度。特點:非接觸、高空間分辨率(微米級聚焦),適合三維復(fù)雜表面處理...
原理:
利用超短脈沖/連續(xù)激光聚焦能量,使金剛石表面局部熔化、蒸發(fā)或發(fā)生相變(如石墨化),通過材料重排或氣化降低粗糙度。
特點:
非接觸、高空間分辨率(微米級聚焦),適合三維復(fù)雜表面處理;
熱影響區(qū)易導(dǎo)致微裂紋或殘余應(yīng)力,需精確控制激光參數(shù)(波長、脈寬、功率);
適用于微納器件局部修形或超硬涂層拋光。