3月31日，日本政府稱，將從7月份開始對6類23種芯片制造設(shè)備施加出口限制，受限的設(shè)備主要與10-14納米及更先進(jìn)的芯片制造工藝節(jié)點相關(guān)。此類設(shè)備向友好國家/地區(qū)以外的國家/地區(qū)出口時，需要獲得日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省（METI）的許可。

該半導(dǎo)體設(shè)備出口管制針對中國意圖明顯，但日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)大臣西村康稔聲稱，這一舉措“不同于美國去年10月采取的措施”，日本的新舉措不針對特定國家，只是“強(qiáng)化確認(rèn)相關(guān)設(shè)備出口后是否會被轉(zhuǎn)用于軍事用途的舉措”。

事實上，若無美國裹挾，日本難很走“傷敵一千，自損八百”這條路。

美國裹挾下，日本尋求平衡

美國于去年10月對向中國出口的芯片制造工具實施全面限制，然而，美國需要此類設(shè)備的其他主要供應(yīng)商國家日本和荷蘭加入，才能使這些限制生效。

美國擁有三大芯片設(shè)備制造商，包括應(yīng)用材料、科磊和泛林集團(tuán)，與日本的東京電子和荷蘭ASML一起，在全球半導(dǎo)體行業(yè)中占據(jù)主導(dǎo)地位。如果不能獲得這些公司最好的芯片設(shè)備，就不可能建立能夠制造最先進(jìn)芯片的工廠。

于是，白宮繼續(xù)向盟友施壓，要求他們通過限制措施，限制荷蘭ASML或日本東京電子等企業(yè)的半導(dǎo)體制造設(shè)備銷售。白宮認(rèn)為，向中國銷售此類先進(jìn)設(shè)備會導(dǎo)致一個問題，即中國有朝一日可能造出無法從美國購買的先進(jìn)產(chǎn)品。

此外，日本廠商整體上在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域擁有著不弱于美國的實力，可以說，日本應(yīng)該是全球最容易打造出一條先進(jìn)的“全國產(chǎn)化”半導(dǎo)體產(chǎn)線的國家。這也是美國拼命拉攏日本跟隨其限制政策的原因。

美國一直希望日本能同步收緊對華半導(dǎo)體設(shè)備出口，但日本一直尋求在兩個超級大國之間選擇一條中間道路。

如今，日本還是邁出了“艱難”的一步。

內(nèi)需不足，外部多變，如今自斷“前路”

在1980年代，日本的芯片在全球的市場占有率超過50%，但如今卻只有10%左右。為何日本芯片制造業(yè)輝煌不再？對此，在日本宣布限制芯片設(shè)備出口的前一天，3月30日，日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省的商務(wù)情報政策局局長野原諭給出答案。

野原表示原因有3個，第一，日本被美國逼迫簽訂的《美日半導(dǎo)體協(xié)議》，使日本芯片制造商不得不降低產(chǎn)能、減少出口；第二，日本一直堅持傳統(tǒng)的生產(chǎn)模式，從設(shè)計到制造都是在日本國內(nèi)完成；第三，也是最重要的一點，是客戶的流失。

在興盛時期，日本芯片制造商的客戶大多是日本電機(jī)制造商。但當(dāng)電機(jī)制造商的主力產(chǎn)品從電腦轉(zhuǎn)為手機(jī)，日本芯片制造商的主力客戶變成了海外制造商。但日本的芯片卻并沒有滲透到海外制造商中，日本國內(nèi)的電機(jī)制造商也因泡沫經(jīng)濟(jì)破滅、發(fā)展停滯不前。

半導(dǎo)體設(shè)備制造商寄國內(nèi)芯片市場發(fā)展的希望渺茫，因此只能把目光轉(zhuǎn)向海外。

聯(lián)合國國際貿(mào)易中心數(shù)據(jù)顯示，2021年日本在全球半導(dǎo)體設(shè)備出口305億美元，對華出口額為120億美元左右，占向全球出口設(shè)備的近40%，位居所有地區(qū)之首。美國2021年對華出口68億美元，日本是其出口額的近兩倍。相比之下，只有26%和12.5%的美國和荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備出口流向中國。此外受新冠疫情、地緣政治及全球經(jīng)濟(jì)下滑等因素影響，終端設(shè)備需求下降，內(nèi)存需求大幅下滑，導(dǎo)致廠商收緊投資，日本半導(dǎo)體設(shè)備的出口額也岌岌可危。

據(jù)日本半導(dǎo)體設(shè)備協(xié)會（SEAJ）最新數(shù)據(jù)顯示，截至2023年2月，日本半導(dǎo)體設(shè)備的國內(nèi)外銷售額連續(xù)五個月下降。這也是銷售額連續(xù)第二個月低于3000億日元（23億美元）。SEAJ預(yù)估日本今年的半導(dǎo)體設(shè)備銷售額將降至近3.5萬億日元（263.85 億美元），年降幅為5%，為四年來首次下降。

而日本決定在7月份開始對23種芯片制造設(shè)備施加出口限制，必將使這一市場雪上加霜。其中，最“受傷”的當(dāng)屬日本半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商。

將受限的日本半導(dǎo)體設(shè)備公司有哪些？

日本最新措施的重點是先進(jìn)半導(dǎo)體制造設(shè)備，制造芯片所需的極紫外（EUV）設(shè)備也被列入其中。這23項設(shè)備包括：3項清洗設(shè)備、11項薄膜沉積設(shè)備、1項熱處理設(shè)備、4項光刻/曝光設(shè)備、3項刻蝕設(shè)備以及1項測試設(shè)備。

據(jù)外媒報道稱，限制出口可能會影響到尼康、東京電子等十幾家日本企業(yè)。在日本宣布將芯片制造設(shè)備加入出口管制清單后，尼康和東京電子的股價應(yīng)聲而跌，下跌了2%。

此外，愛德萬測試、日立高科、SCREEN、迪斯科、Kokusai Electric等也將是備受關(guān)注的重點。

東京電子（Tokyo Electron Ltd.）

東京電子是全球第三大以及日本最大的半導(dǎo)體制造設(shè)備供應(yīng)商，控制著近90%的芯片涂層顯影和開發(fā)設(shè)備市場。中國是東京電子的最大客戶。截至2022年3月，中國占該公司芯片制造設(shè)備年銷售額的26%。其副總裁Hiroshi Kawamoto表示：“如果美國設(shè)備不能送到我們的中國客戶手中，他們將無法生產(chǎn)，因此我們的設(shè)備也無法到達(dá)那里。”

此前，被問及美國加強(qiáng)對中國出口半導(dǎo)體相關(guān)尖端設(shè)備的管控是否對日本產(chǎn)生影響時，東京電子社長河合利樹曾稱，“我不以民族主義的方式思考，無視民族主義是企業(yè)可持續(xù)全球增長的關(guān)鍵。在美國對中國出口限制的背景下，讓東京電子遠(yuǎn)離風(fēng)險很重要，但保持尖端設(shè)備持續(xù)向客戶供應(yīng)的環(huán)境也很重要。”

尼康（Nikon）

同樣被認(rèn)為將受監(jiān)管的“ArF浸入式光刻設(shè)備”的制造商尼康稱，“2022年銷售的每五款產(chǎn)品中至少有一款面向中國”。

尼康成立于1917年，1980年開始半導(dǎo)體光刻設(shè)備研究，1986年推出第一款FPD光刻設(shè)備，如今業(yè)務(wù)線覆蓋范圍廣泛。2004年之前，尼康占據(jù)光刻機(jī)市場超過50%的市場份額，被譽(yù)為“設(shè)備業(yè)界王者”。但后來再關(guān)鍵技術(shù)路線上選擇錯誤，使得尼康從光刻機(jī)王者寶座跌落。

尼康曾表示，“過去，我們ArF光刻系統(tǒng) 80% 以上的銷售額都集中在一個核心北美客戶。”本財年，尼康一半以上的銷售額預(yù)計將流向其“北美核心客戶”以外的公司。通過將客戶群分散到日本和亞洲其他地區(qū)，尼康希望在下一財年及以后為其精密設(shè)備業(yè)務(wù)建立穩(wěn)定的基礎(chǔ)。而“亞洲其他地區(qū)”幾乎完全是指中國。

尼康在截至2022年3月的財年中約占中國總銷售額的28%，約40%的銷售額來自其光刻機(jī)業(yè)務(wù)。

尼康發(fā)言人表示，日本此次推出限制措施，尼康目前提供兩種類型的浸入式光刻系統(tǒng)的銷售可能會受到影響。

愛德萬測試（Advantest）

愛德萬測試（Advantest）是一家日本芯片測試設(shè)備制造商，成立于1954年，為全球的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供自動化測試設(shè)備和一體化的測試技術(shù)解決方案，與總部位于美國的泰瑞達(dá)（Teradyne）展開競爭。

在全球半導(dǎo)體測試設(shè)備市場，主要被美國泰瑞達(dá)和日本愛德萬所占據(jù)。在SOC測試領(lǐng)域，泰瑞達(dá)具有較高的優(yōu)勢，而愛德萬在存儲器測試領(lǐng)域處于領(lǐng)軍地位，但其SOC測試設(shè)備市場份額逐漸穩(wěn)步上升。

中國也是愛德萬的最大市場，2021年僅來自中國的訂單金額就達(dá)1890億日元，占該公司總銷售額的27%。

愛德萬測試的一位高管1月份表示，“我們認(rèn)為美國對中國的出口限制直接阻止我們銷售我們的測試儀的風(fēng)險很小。然而，我們可能會受到間接影響，因為這些限制會停止供應(yīng)其他公司的生產(chǎn)設(shè)備，促使我們的客戶重新審視他們的商業(yè)計劃。”

日立高新（Hitachi High-Tech）

日本日立高新成立于1947年，是全球領(lǐng)先的設(shè)備廠商。主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體設(shè)備、電子顯微鏡、FPD設(shè)備及醫(yī)療分析設(shè)備等。

在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，主要生產(chǎn)干蝕刻系統(tǒng)和CD-SEMI和缺陷檢查系統(tǒng)。這些設(shè)備廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路、功率器件和聲表面波濾波器、CMOS圖像傳感器、微機(jī)電系統(tǒng)和其他（硬盤和平板顯示器）。

迪恩士（SCREEN）

迪恩士創(chuàng)立于1943年，是世界上唯一生產(chǎn)線圖像制版器材、電子原件制造設(shè)備的綜合制造廠商，也是是全球第六大的半導(dǎo)體設(shè)備廠商。

迪恩士1975年開發(fā)出晶圓刻蝕機(jī)，正式開啟半導(dǎo)體設(shè)備制造之路。隨后四十多年里公司專注于半導(dǎo)體制造設(shè)備，在清洗設(shè)備領(lǐng)域公司具有強(qiáng)大的競爭優(yōu)勢。迪恩士的業(yè)務(wù)有半導(dǎo)體制造設(shè)備（SPE）、PCB設(shè)備（PE）、液晶制造設(shè)備（FT）、圖像情報處理機(jī)器（GA）以及ICT解決方案等。

值得一提的是，在晶圓清洗領(lǐng)域，2009年迪恩士在單晶圓清洗系統(tǒng)中獲得了全球60％以上的份額，在涂布機(jī)/顯影機(jī)，濕法蝕刻機(jī)和抗蝕劑剝離劑的LCD制造設(shè)備市場上贏得了2008年全球最大的份額。此迪恩士在圖案檢查和液晶制造設(shè)備行業(yè)也擁有龍頭地位。

迪斯科（Disco Corporation）

迪斯科創(chuàng)立于1937年，總部位于日本東京，是全球領(lǐng)先的晶圓切割設(shè)備廠商。根據(jù)數(shù)據(jù)顯示，在2021年的半導(dǎo)體晶圓切割設(shè)備，DISCO占據(jù)了超過70%的市場份額。

迪斯科經(jīng)營三個業(yè)務(wù)部門。精密加工系統(tǒng)部門生產(chǎn)，銷售，維護(hù)和提供半導(dǎo)體制造設(shè)備和精密加工工具的相關(guān)服務(wù)，包括切割鋸，激光鋸，磨床，拋光機(jī)，干蝕刻機(jī)，表面刨床，切割刀片，砂輪和干拋光輪。工業(yè)磨削和切割產(chǎn)品部門制造和銷售金剛石砂輪和磨石用于磨削和切削。精密加工部門主要生產(chǎn)和銷售精密加工設(shè)備的部件。

Kokusai Electric

KOKUSA電氣的前身是日立國際電氣，于2017年底作為非核心業(yè)務(wù)出售給了私募股權(quán)基金Kohlberg Kravis Roberts（KKR），從而離開了日立集團(tuán)。

制造半導(dǎo)體的最重要階段是通過沉積和熱處理形成薄膜。KOKUSAI電氣公司擁有一種新穎的下一代沉積技術(shù)——平衡控制沉積（BCD），BCD技術(shù)為先進(jìn)的小型幾何設(shè)備提供更低的溫度處理和更嚴(yán)格的過程控制，同時保持非常高的生產(chǎn)力。KOKUSAI電氣公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體制造設(shè)備利用了那些接近物理極限的世界一流的薄膜形成技術(shù)，例如10納米微制造技術(shù)，為快速發(fā)展的晶圓廠設(shè)備市場提供服務(wù)。

Lasertec

Lasertec 是世界上唯一一家使用極紫外掩模光刻技術(shù)的半導(dǎo)體檢測設(shè)備制造商。Lasertec專注于設(shè)計和開發(fā)，將生產(chǎn)的大部分委托給外部，其“輕工廠”（fab-light）的優(yōu)勢擴(kuò)大了收益。這家芯片測量制造商在中國的銷售額占其全球銷售額的不到10%。Lasertec表示，由于該公司在中國的銷量較小，出口限制將對該公司產(chǎn)生“有限、微不足道的影響”。

佳能（Canon）

佳能成立于1937年，原名為精機(jī)光學(xué)工業(yè)株式會社，1984年，佳能推出首款步進(jìn)式光刻機(jī)（stepper），2011年，佳能推出第一款用于后道的步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-5510iV，正式進(jìn)入先進(jìn)封裝領(lǐng)域的光刻市場。

佳能的FEOL（生產(chǎn)線前道工序）產(chǎn)品陣容強(qiáng)大，包括深紫外光（DUV）掃描式光刻機(jī)FPA-6300ES6a和I線步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-5550iZ2，得益于其高生產(chǎn)率和低成本的優(yōu)勢而受到存儲器制造廠商的青睞。

佳能的關(guān)鍵優(yōu)勢之一是產(chǎn)品覆蓋半導(dǎo)體前道市場和半導(dǎo)體后道市場，產(chǎn)品組合廣泛。加上在前道技術(shù)開發(fā)過程中積累了寶貴的經(jīng)驗，在開發(fā)后道產(chǎn)品時可借鑒早期平臺研發(fā)的經(jīng)驗，并利用經(jīng)過驗證的專有光學(xué)制造技術(shù)，不斷改進(jìn)光刻系統(tǒng)的性能。

大福集團(tuán)（Daifuku）

大福集團(tuán)創(chuàng)于1937年，最早生產(chǎn)氣錘、鍛壓加工機(jī)，隨著日本經(jīng)濟(jì)的復(fù)興與發(fā)展，開始涉足物料運輸及管理物流。

大福集團(tuán)的潔凈室存儲、搬運系統(tǒng)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶等平板顯示器制造行業(yè)，在許多世界著名企業(yè)均有銷售。大福集團(tuán)曾是2018年全球前十五大半導(dǎo)體設(shè)備廠商。

只是日本的第一步？

日本企業(yè)（中國）研究院執(zhí)行院長陳言分析表示，此次的出口限制只是日本走出的第一步，今后日本會在更多的相關(guān)產(chǎn)業(yè)上有所動作。在一定程度上，日本在多個技術(shù)領(lǐng)域已經(jīng)被中國趕超，在半導(dǎo)體等方面還保持著對中國的高技術(shù)優(yōu)勢。

而不管日本推出何種限制措施，其對全球產(chǎn)供鏈穩(wěn)定的破壞，終將會損人害己，對日本半導(dǎo)體設(shè)備商也將造成巨大損失。