手機(jī)資訊
官方微信摘要 利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)生長(zhǎng)高質(zhì)量單晶金剛石的最佳方法是利用同質(zhì)外延，然而單晶金剛石襯底價(jià)格昂貴，采用其他襯底制備的大部分都是多晶金剛石，這是目前生長(zhǎng)高質(zhì)量金剛石的一大難點(diǎn)...
利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)生長(zhǎng)高質(zhì)量單晶金剛石的最佳方法是利用同質(zhì)外延，然而單晶金剛石襯底價(jià)格昂貴，采用其他襯底制備的大部分都是多晶金剛石，這是目前生長(zhǎng)高質(zhì)量金剛石的一大難點(diǎn)。襯底的選擇需要綜合考慮晶格匹配、熱學(xué)、光學(xué)、穩(wěn)定性等多種參數(shù)，目前已在 Si，Cu，Ti，Ir，SrTiO3，KTaO3 等襯底上實(shí)現(xiàn)了金剛石的制備，不同襯底制備的金剛石往往具有其獨(dú)特的性質(zhì)。有學(xué)者提出采用鉭鈮酸鉀（ KTa1-xNbxO3，簡(jiǎn)稱KTN）晶體作為生長(zhǎng)金剛石的襯底，在這種襯底上生長(zhǎng)金剛石薄膜有望成為探索金剛石薄膜襯底的新方向。
豫公網(wǎng)安備41019702003604號(hào)