申請?zhí)? 201620963357.4
主分類號: F27B 14/06(2006.01)
申請人: 長沙諾天電子科技有限公司
發(fā)明人: 黃超斌; 成友為
摘要：
       本實用新型公開了一種臥式方形碳化硅燒結(jié)爐，包括爐體、真空泵、羅茨泵，所述真空泵和羅茨泵固定在基座上，所述真空泵通過真空管道與羅茨泵連接，所述羅茨泵通過羅茨管道與爐體連接，爐體底部設(shè)有與之固定的底座，其特征在于：所述爐體頂部設(shè)有防爆閥，爐體內(nèi)設(shè)有與爐體固定連接的內(nèi)支撐平臺，內(nèi)支撐平臺上設(shè)有方形感應(yīng)線圈，方形感應(yīng)線圈的兩端延伸至爐體外，方形感應(yīng)線圈的內(nèi)部設(shè)有保溫層，所述保溫層內(nèi)設(shè)有方形石墨坩堝。本實用新型用于碳化硅燒結(jié)，熱溫度均勻、加熱溫度超高、且連續(xù)可調(diào)。 主權(quán)利要求：
       1.一種臥式方形碳化硅燒結(jié)爐，包括爐體、真空泵、羅茨泵，所述真空泵和羅茨泵固定在基座上，所述真空泵通過真空管道與羅茨泵連接，所述羅茨泵通過羅茨管道與爐體連接，爐體底部設(shè)有與之固定的底座，其特征在于：所述爐體頂部設(shè)有防爆閥，爐體內(nèi)設(shè)有與爐體固定連接的內(nèi)支撐平臺，內(nèi)支撐平臺上設(shè)有方形感應(yīng)線圈，方形感應(yīng)線圈的兩端延伸至爐體外，方形感應(yīng)線圈的內(nèi)部設(shè)有保溫層，所述保溫層內(nèi)設(shè)有方形石墨坩堝。