申請(qǐng)?zhí)? 201710662467.6

申請(qǐng)日: 2017.08.04

國家/省市:中國北京(11)

公開號(hào): 107378651A

公開日: 2017.11.24

主分類號(hào):B24B 1/00(2006.01)

分類號(hào): B24B 1/00(2006.01)

申請(qǐng)人: 北京交通大學(xué); 江西德義半導(dǎo)體科技有限公司

發(fā)明人: 李建勇; 樊文剛; 曹建國; 劉月明; 聶蒙; 朱朋哲; 易德福

代理人: 黃曉軍

代理機(jī)構(gòu):北京市商泰律師事務(wù)所(11255)

申請(qǐng)人地址:北京市海淀區(qū)西直門外上園村3號(hào)

摘要： 本發(fā)明提供了一種磁流變平面拋光裝置，涉及超精密加工技術(shù)領(lǐng)域，該裝置包括支架，支架頂端設(shè)有平臺(tái)，平臺(tái)上固定有旋轉(zhuǎn)座，旋轉(zhuǎn)座上設(shè)有拋光盤，旋轉(zhuǎn)座連接有拋光盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；拋光盤的上方設(shè)有工件夾持機(jī)構(gòu)，工件夾持機(jī)構(gòu)設(shè)有夾盤；平臺(tái)的下方設(shè)有磁場(chǎng)發(fā)生機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)盤上以所述轉(zhuǎn)盤的中心為起點(diǎn)，沿等速螺線均勻設(shè)置有若干永磁鐵。本發(fā)明將永磁鐵沿等速螺線以磁極方向相反的方式相間排布在轉(zhuǎn)盤上，在拋光盤、待加工工件和永磁鐵的旋轉(zhuǎn)復(fù)合作用下，使磁流變拋光液形成柔性拋光面，磁流變拋光液中的磨料在脈沖磁場(chǎng)的作用下實(shí)時(shí)快速更新自銳，提高了磁流變拋光效率，降低了拋光液中磨粒的磨損率，延長了磁流變拋光液的使用壽命，提高了拋光效率和質(zhì)量。

主權(quán)利要求

1.一種磁流變平面拋光裝置，其特征在于：包括支架(1)，所述支架(1)的頂端設(shè)有平臺(tái)(9)，所述平臺(tái)(9)上固定有旋轉(zhuǎn)座(10)，所述旋轉(zhuǎn)座(10)上設(shè)有拋光盤(3)，所述旋轉(zhuǎn)座(10)連接有拋光盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(4)；所述拋光盤(3)的上方設(shè)有工件夾持機(jī)構(gòu)(5)，所述工件夾持機(jī)構(gòu)(5)包括有夾盤(507)，所述夾盤(507)位于所述拋光盤(3)上方；所述平臺(tái)(9)的下方設(shè)有磁場(chǎng)發(fā)生機(jī)構(gòu)(6)，所述磁場(chǎng)發(fā)生機(jī)構(gòu)(6)包括有轉(zhuǎn)盤(7)，所述轉(zhuǎn)盤(7)位于所述拋光盤(3)的下方，所述轉(zhuǎn)盤(7)上以所述轉(zhuǎn)盤(7)的中心為起點(diǎn)，沿等速螺線均勻設(shè)置有若干永磁鐵(8)。