以5G基建為首的中國七大“新基建”,是經濟復蘇和發展的重要生產力,是產業變革的核心。站在新基建政策紅利的“風口”,本屆國際碳材料大會——金剛石論壇重點聚焦在導熱散熱、培育鉆石、半導體器件、超精密加工等領域,探討在新形勢下,金剛石如何立足當下,與時俱進;如何抓住機遇,迎接挑戰;如何突破難點,把握未來。
2020年11月18日,由DT新材料、中國超硬材料網聯合主辦的第五屆國際碳材料大會暨產業展覽會——金剛石論壇在上海成功舉辦。本屆論壇以“金剛石半導體及高導熱功能應用”、“金剛石創新應用”、“培育鉆石”為話題,舉行近三十場技術報告,來自全國各地的院士大咖、專家學者、企業代表分享研究成果,全方位、多層次深入探討金剛石在5G新基建、半導體、電子器件、超精密加工、培育鉆石等領域的應用現狀及發展趨勢,推動5G新基建下金剛石產業的進一步發展。
中國科學院鄒廣田院士、中國超硬材料網總經理石超先生、上海昌潤極銳超硬材料有限公司高級顧問方嘯虎、寧波材料所研究員江南、中科院理化所研究員只金芳、中國材料研究學會超硬材料專委會主任委員呂智等嘉賓出席本次大會。
上午九點,中國科學院鄒廣田院士、中國超硬材料網總經理石超先生先后致辭。鄒院士在致辭中講到,半個多世紀以來,中國金剛石產業從無到有、從小到大、從弱到強,是幾代人共同努力的結果,是來之不易的。值碳材料大會金剛石論壇開始之際,希望在座的專家學者、企業代表們能沉下來心刻苦鉆研、加大技術創新投入、積極擁抱金剛石功能應用、堅持走高質量發展路線。
最后鄒院士用“一顆恒久遠 萬世永流傳” 的鉆石精神激勵在場的嘉賓學者、企業代表們為我國成為超硬材料強國而貢獻自己的一份力量。
石總在致辭中講到,2020年,一切充滿不容易!特殊的年份里,我們大家相聚上海,共同開啟第五屆國際碳材料大會金剛石論壇。今年年底的相聚,格外有意義,同一個目標,共同的信念,共同打造碳材料新天地!由DT新材料、中國超硬材料網聯合主辦的國際碳材料大會金剛石論壇為促進世界各地金剛石產業的互動合作,提供了一個重要平臺、一個綠色通道、一條緊密紐帶。
創新是推動發展永恒的動力,如何打破原有格局?如何不斷突破技術應用難點?如何與時俱進,創新發展?這是對金剛石行業,每一個人的深度拷問!中國芯問題,一直被視為卡脖子事件!而金剛石被譽為終極半導體,但始終處于實驗室研究階段,產業化道路,任重而道遠!今年的金剛石論壇關注產業最前沿!從納米金剛石到大單晶,從半導體到量子領域,無一不是創新!希望大家以本屆論壇為契機,進一步加深了解、增進交流,共謀合作發展,開始今年的思維碰撞!
中國有色桂林礦產地質研究院有限公司教授級高工、中國材料研究學會超硬材料專委會主任委員呂智、武漢工程大學 汪建華教授、中電十二所李莉莉高級工程師、北京科技大學魏俊俊副教授分別主持會議。
在哈爾濱工業大學科學技術研究院院長朱嘉琦教授的《金剛石單晶生長及其器件技術》報告下,一場金剛石行業年度盛宴正式啟幕!朱嘉琦教授在報告提到:“大、純、優”是金剛石晶體生長發展方向。“大”即大于四英寸(100mm)、厚度大于1mm的單晶金剛石;“純”就是要獲得超高純度的單晶金剛石,雜質濃度為電子級(小于10ppd);“優”就是要低缺陷密度的優質單晶金剛石(缺陷密度小于104/c㎡)。金剛石被譽為“終極半導體”,力、熱、光、電性能優異,有望替代硅成為下一代核心半導體器件材料。
武漢工程大學 汪建華教授做《工業微波等離子技術及其應用》報告
報告系統介紹了表面波、線性微波等離子體、ECR、常壓微波等離子體炬及高功率MPCVD等多種工業化微波等離子體設備的研發技術,重點論述了自主研發的1.5kW、2.0kW、5.0kW、10kW、75kW的全系列MPCVD設備,探討了利用MPCVD技術進行工業化生產時所需要解決的關鍵技術難題。
上海昌潤極銳超硬材料有限公司高級顧問方嘯虎做《5G時代-對超硬材料行業的展望》報告
方教授以5G發展的新時代為基礎,介紹了國內外發展動態及重要性;通俗易懂的簡述了概念和特點,提出超硬材料與5G的相互關系,建立基礎框架與不同層次的“云”,展現了建立“云”迫切性。最后闡述了超硬材料發展前景與5G相關性的若干問題。
中電十二所李莉莉高級工程師做《超薄金剛石在THz真空電子器件中的應用》報告
報告主要講述采用微波等離子體化學氣相沉積法沉積超博復合多層金剛石膜,將微加工工藝引入太赫茲小尺寸窗片的金屬化封接,攻克關鍵技術,成功研制出可工程化應用的高可靠太赫茲行波管輸能窗。該研究成果填補了國內空白,實現了太赫茲窗的國產化。
中國有色桂林礦產地質研究院有限公司教授級高工、中國材料研究學會超硬材料專委會主任委員呂智做《超硬材料行業中若干問題探討》報告
報告從行業的角度對超硬材料的發展提出①中國超硬材料在全球的定位-大國與強國;②行業今后幾年重點發展的領域:金剛石深度加工、超硬材料精密加工應用、功能金剛石的產業化;③大尺寸金剛石應用場景的細分與拓展;④金剛石在半導體加工中的應用;⑤5G對行業的推動作用等幾個熱點問題供探討與思考。
北京科技大學魏俊俊副教授做《高品質CVD金剛石膜制備及其熱學應用》
魏俊俊副教授重點介紹北京科技大學在高品質熱學級金剛石膜制備 及在大功率半導體激光器、射頻、微波器件等應用研究方面的工作進展,并對相關工作進行展望。
北京國瑞升科技股份有限公司董事長葛丙恒博士做《爆炸合成金剛石及其應用》報告
葛丙恒博士首先介紹了爆炸合成金剛石的方法,隨后講解不同的爆轟方法制得的金剛石在晶粒尺寸、顏色、形貌、性能等方面的差異,最后詳細闡述多晶金剛石在精密研磨拋光領域的應用。
華僑大學陸靜教授做《金剛石襯底的磨拋加工技術》報告
報告從金剛石表面超精密磨拋技術出發,結合金剛石的材料本征屬性,構建機械化學磨拋加工原理,發現機械誘導的活性磨粒反應去除是實現金剛石高效加工的有效途徑。
集美大學半導體產業技術研究院副教授、上海化合積電半導體科技有限公司寬禁帶半導體材料顧問 周昌杰做《晶園級金剛石材料的制備及其超精密加工》報告
通過深入分析金剛石的拋光去除機理,進而精細調控金剛石材料的去除尺度,以實現金剛石的高效超精密無損傷加工,尤其是運用不同組合的工藝路線以適應不同產品的質量要求。
廣東工業大學副校長王成勇教授(胡小月博士代講)做《金剛石加工技術在熱管理中的應用》報告
胡小月博士詳細闡述了幾種CVD金剛石膜拋光工藝,超快激光加工金剛石精密微納米結構工藝及其在熱管理中的應用的最新研究成果。所制備的陶瓷基金剛石復合材料的熱導率大大提高,結合了皮秒和飛秒激光加工技術,可實現金剛石精密微納結構的高質量、高精度加工、在高效熱管理領域有著較好的應用前景。
西安電子科技大學教授張金鳳(在線)做《金剛石超寬禁帶半導體電子學研究》報告
張金鳳教授首先介紹金剛石在微波功率場效應晶體管及輻照探測器等領域的最新研究進展,緊接著匯報西安電子科技大學在金剛石外延MPCVD設備、高質量大尺寸金剛石材料外延、高性能金剛石場效應晶體管等領域取得的重要進展。
大會現場
頒發榮譽證書
根據大會議程,明天將舉行“金剛石創新應用”專題論壇和培育鉆石專題論壇,共同探討金剛石在生物醫學、量子科技、珠寶首飾等領域的技術難度、探索后疫情時代金剛石應用前景。