申請?zhí)? 201611159306.7
申請日: 2016.12.15
國家/省市: 中國福建(35)
公開號: 106676612A
公開日: 2017.05.17
主分類號: C25D 15/00(2006.01)
分類號: C25D 15/00(2006.01)
申請人: 華僑大學
發(fā)明人: 陸靜; 徐西鵬; 王艷輝; 羅求發(fā)
代理人: 張松亭 游學明
代理機構: 廈門市首創(chuàng)君合專利事務所有限公司(35204)
申請人地址: 福建省泉州市豐澤區(qū)城東

摘要： 本發(fā)明提供一種電泳共沉積制備陶瓷結合劑超細磨料拋光盤的方法。該方法首先將超細磨料和超細陶瓷粉加入到有機溶劑中，通過磁力攪拌和超聲分散將其制備成顆粒均勻分散的懸浮液；再向懸浮液中添加高價金屬陽離子，使分散均勻的顆粒帶上正電荷；然后通過電泳共沉積的方法，使溶液中的帶電顆粒均勻地沉積在陰級基板上；最后將風干后的基板放入箱式電阻爐中進行固化燒結，制備出陶瓷結合劑超細磨料拋光盤。本發(fā)明提供的拋光盤制備方法簡單易行且成本低廉，不僅能使超細磨料均勻分散在陶瓷結合劑中，而且涂層厚度可控，能沉積在異形基體上。該方法制備的拋光盤在半導體晶圓的高效超精密加工領域具有良好的應用前景。 

主權利要求
1.一種電泳共沉積制備陶瓷結合劑超細磨料拋光盤的方法，其特征在于，包括以下步驟：(1)電泳懸浮液的配置：將超細磨料和超細陶瓷粉加入到有機溶劑中，通過磁力攪拌和超聲振動，使其分散均勻成為懸浮液；然后向該懸浮液中添加高價金屬鹽溶液，并攪拌均勻；其中，超細磨料與超細陶瓷粉的體積比為1:1～1:5；懸浮液的濃度為0.1-10wt％；高價金屬鹽濃度為0.05-0.25wt％；(2)電泳共沉積：將配置好的懸浮液倒入電泳槽中，圓形不銹鋼盤作為電泳的陰極，電泳槽的底板作為電泳的陽極，接通直流電源進行電泳；電泳沉積的電壓為20-100V，極板間距為1-10cm，沉積時間為10-30min；(3)固化燒結：將表面已經(jīng)均勻沉積涂層的不銹鋼基盤，放入箱式電阻爐中進行固化燒結，得到磨料在結合劑中均勻分布的拋光盤；燒結溫度為500-600℃，保溫時間為20-40min。