冷等靜壓壓制的坯體具有強度大，密度高而均勻，可實現(xiàn)坯體的近凈尺寸成型等優(yōu)點，而反應(yīng)燒結(jié)氮化硅陶瓷又具有燒結(jié)前后尺寸不變的特點。因此，將硅粉先經(jīng)冷等靜壓成型，再進行反應(yīng)燒結(jié)，就可以使氮化硅陶瓷制品少加工或免加工，最終降低陶瓷的生產(chǎn)成本。在冷等靜壓成型過程中，要實現(xiàn)坯體的近凈尺寸成型，就要力求粉料的填充密度高而均勻，以便粉料壓制時壓縮均勻且壓縮比盡可能小，使壓坯尺寸容易控制。
　　在等大球的緊密堆積模型中，球間空隙率最小。實際粉料往往是非球形的，自由堆積時會產(chǎn)生拱橋現(xiàn)象，導(dǎo)致粉料顆粒間的空隙率增加，而振動可以使顆粒產(chǎn)生位移，重排，有利于粉料的填充，降低顆粒間的空隙率。在振動裝料過程中，粉料顆粒由于振動而獲得相當(dāng)大的交變速度和加速度，使靜止的粉料顆粒產(chǎn)生相當(dāng)大的慣性力，在這種慣性力的作用下，粉料顆粒間發(fā)生相對位移，破壞了拱橋現(xiàn)象，顆粒進行重排，被粉料包覆的空氣從顆粒運動所形成的通道中不斷排出，顆粒間的空隙逐漸減少，最終使粉料的填充密度高而均勻。豎直主向的周期性振動也可能使粉料顆粒產(chǎn)生分層，導(dǎo)致粉料填充不均勻，前人已對其機理作了大量研究，本工作以硅粉造粒后的粉料為對象，研究了振動頻率和振動時間對粉料填充密度的影響，為硅粉裝料工藝參數(shù)的確定提供了理論依據(jù)，并確定出最佳的工藝參數(shù)。