在研究中,砂輪采用數控對磨技術和接觸放電技術兩種修整方式對金剛石砂輪V形尖端進行修整,分析其微細修整的可行性。而且,建立V形尖端角度和尖端圓弧半徑的檢測和評價模式,研究影響金剛石砂輪V形尖端成形質量的因素,并對修整精度和修整效率進行實驗分析。
首先,采用數控對磨技術修整金剛石砂輪V形尖端并進行了加工實驗。實驗結果顯示,采用#600GC磨石對SD600金剛石砂輪進行V形尖端的對磨修整時, 其尖端圓弧半徑可以小于20μm,且V形尖端上的微細金剛石磨粒可以被修銳,可以用于微溝槽的微細加工中。當加工單晶硅時,其微溝槽尖角圓弧半徑達到 28.3μm,其深寬比達到0.20。此外,V形尖端的微磨粒出刃形貌對修整效率和加工精度影響較大。對比#180GC油石修整,采用#600GC修整可 以獲得更好的微磨粒出刃形貌,在微溝槽加工中提高材料去除率約3倍,但是,修整率卻下降6-7倍。再次,采用接觸放電對金屬結合劑金剛石砂輪V形尖端進行 了修整。
研究發現,當放電電壓為7V和放電頻率為500HZ時,可得到較好成形角度和較小的尖端圓弧半徑;接觸放電修整的修整率是#600GC油石修整修整率的 350倍左右,修整效率是采用#600GC磨石修整的59倍左右。最后,采用修整的砂輪V形尖端加工了硬質合金車刀刀頭、光纖對接石英基板、SiC陶瓷和 WC硬質合金基板微米尺度的溝槽陣列和錐塔空間陣列結構。實驗結果已經顯示出應用前景,這為推廣金剛石砂輪V形尖端在微細機械加工中的應用提供了理論依據 和基礎參數。