摘要 硅晶化系統以及真空和高溫系統制造商PVATePlaAG宣布推出用于制造碳化硅(SiC)晶體的高溫系統SICube。SiCube中所生產的晶體主要面向高科技市場中的客戶。典型的應用領...
硅晶化系統以及真空和高溫系統制造商 PVA TePla AG 宣布推出用于制造碳化硅 (SiC) 晶體的高溫系統 SICube。SiCube 中所生產的晶體主要面向高科技市場中的客戶。典型的應用領域包括高性能的電子產品(例如混合動力及電動汽車、空調系統和光伏)和光電產品,碳化硅的一些特定屬性(如高導熱性)可為這些產品增色不少。
PVA TePla 提供兩種不同的系統:HTCVD(高溫化學氣相蒸鍍)和 HTCVT(高溫化學氣相輸運)。這兩種系統都可生成直徑長達 6 英寸(150 毫米)的晶體。迄今為止,歐洲和亞洲兩家大型制造商都已選擇采用此系統。SICube 是一種緊湊型晶體生長系統。該系統擁有直觀的用戶界面和極高的工藝精度,采用高品質的材料和成分,可為客戶帶來眾多益處。