我是一枚CMP研磨盤(pán),來(lái)自3M。圓圓的身形里藏著滿滿的匠心工藝。
我的公司3M,活躍于人類工作生活的各個(gè)方面,是一家經(jīng)營(yíng)多元化產(chǎn)品的百年科技企業(yè)。
然而,不止是日常使用的物品,3M的材料還出現(xiàn)在各類電子產(chǎn)品的生產(chǎn)制造過(guò)程里。我們都知道,高精度半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展已經(jīng)成為了當(dāng)今科技領(lǐng)域的核心。但半導(dǎo)體制造有一套復(fù)雜的流程,需要各種材料和技術(shù)的完美配合。作為制造過(guò)程中重要的一環(huán),修整晶圓表面的CMP技術(shù),即化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù),對(duì)材料的選擇和性能要求非常高。
CMP的作用是在晶圓片加工中去除表面多余的材料,保證晶圓表面的平整度和光潔度,從而保證半導(dǎo)體芯片的性能。
CMP材料的大家族里有研磨盤(pán)、研磨墊、研磨刷等多種產(chǎn)品。作為CMP材料的明星單品,我的應(yīng)用廣泛,涵蓋了從高端芯片到普通電子產(chǎn)品的生產(chǎn),包括DRAM、Flash、CMOS、CPU等,可以適應(yīng)各種半導(dǎo)體制造工藝和要求,全心全意為半導(dǎo)體制造商帶來(lái)更高的產(chǎn)量和更佳的質(zhì)量。我的公司3M目前已經(jīng)開(kāi)發(fā)了2個(gè)系列的產(chǎn)品:3M? Trizact? 研磨盤(pán)及3M? 鉆石研磨盤(pán),從整體形狀到尖端形狀再到高度分布,幾乎每一方面都可以在微觀尺度上進(jìn)行定制,按照您喜歡的程度進(jìn)行修整。
作為一位 “平整大師”,我采用3M公司專有的微復(fù)制工藝,使用具有類鉆涂層的陶瓷或鉆石材料,能夠有效控制研磨壓力和溫度。可以提供高效的研磨效果,最大程度地減少磨損,保證研磨過(guò)程中的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。
此外,我還是一名“材料兼容家”。我可以適應(yīng)包括硅、氮化硅、氧化鋁等各種材料和要求,具有優(yōu)異的切削性和光潔度,保證芯片表面的平整度。
一道道優(yōu)良的工藝讓我擁有長(zhǎng)壽基因,具備高度的耐磨性,可以大幅度降低生產(chǎn)成本和工藝調(diào)整的次數(shù)。
CMP研磨盤(pán)修整毛刷是我的好搭檔,它的刷毛獨(dú)立固定并均勻分布于刷子表面,可以在研磨過(guò)程中有效地清除碎屑,有效分配研磨液。
作為一家科技企業(yè),我的公司3M不斷推進(jìn)半導(dǎo)體制造技術(shù)的研發(fā)和應(yīng)用,為市場(chǎng)提供優(yōu)質(zhì)的CMP材料和其他半導(dǎo)體制造相關(guān)材料和方案,包括晶圓保護(hù)、先進(jìn)封裝材料等,為半導(dǎo)體制造商提供全面的技術(shù)支持,幫助半導(dǎo)體廠商提高生產(chǎn)效率,降低成本,提高產(chǎn)品質(zhì)量和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。“科技,改善生活”的信念一直活躍于百年的3M公司中。盡心攻克半導(dǎo)體生產(chǎn)制造的材料難題,于是一只先進(jìn)的CMP研磨盤(pán)由此誕生,我們希望幫助您塑造半導(dǎo)體行業(yè)的未來(lái)。