摘要:本發明涉及一種回收金剛石線鋸切割硅片廢料漿中多晶硅的方法。主要包括以下步驟:將廢料漿進行固液分離;在固體物中加入混合酸,反應10~12小時后脫酸,清洗至中性;以純水造漿后用旋流器分離出大部分金剛石,壓濾后得到含量為99%的硅料,再將其分散在重液中,離心分離后用純水反復清洗;將清洗后的料漿通過大孔離子交換樹脂裝置去除離子,干燥得到99.99%的硅粉;硅粉壓制成塊后在多晶硅鑄錠爐中鑄錠,切除雜質,得到純度為99.9999%的硅錠。本發明不同于傳統多晶硅制備及回收技術,工藝簡單、成本低廉,易于工業化生產。
申請人: 河南新大新材料股份有限公司
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發明(設計)人: 羅小軍 宋賀臣 姜維海 郝玉輝
主分類號: C01B33/037(2006.01)I
分類號: C01B33/037(2006.01)I