申請(qǐng)日: 2013.07.24
國家/省市: 日本(JP)
公開號(hào): 104703759A
公開日: 2015.06.10
主分類號(hào): B24B 57/00(2006.01)
分類號(hào): B24B 57/00(2006.01); C02F 11/14(2006.01)
申請(qǐng)人: 柯尼卡美能達(dá)株式會(huì)社
發(fā)明人: 永井佑樹; 前澤明弘; 乾智惠
代理人: 張濤
代理機(jī)構(gòu): 11105
申請(qǐng)人地址: 日本東京都
優(yōu)先權(quán): JP2012-164821
摘要: 本發(fā)明從包含使用過的研磨材料的研磨材料漿料中得到高純度的再生研磨材料。研磨材料是選自氧化鈰、金剛石、氮化硼、碳化硅、氧化鋁、氧化鋁-氧化鋯以及氧化鋯中的至少一種,且經(jīng)由下述工序A~D從包含使用過的研磨材料的研磨材料漿料中再生研磨材料,即,回收包含使用過的研磨材料的研磨材料漿料的漿料回收工序A,該使用過的研磨材料是對(duì)主成分為硅的被研磨物3進(jìn)行研磨得到的;調(diào)整回收得到的研磨材料漿料的pH使得pH為7~10的pH調(diào)整工序B;向調(diào)整過pH的研磨材料漿料中添加作為無機(jī)鹽的含堿土金屬元素的金屬鹽,使研磨材料凝聚,從母液分離研磨材料并進(jìn)行濃縮的分離濃縮工序C;將分離濃縮了的研磨材料固液分離并回收的研磨材料回收工序D。
主權(quán)利要求 1.一種研磨材料再生方法,其從包含使用過的研磨材料的研磨材料漿料中再生研磨材料,該使用過的研磨材料是對(duì)主成分為硅的被研磨物進(jìn)行研磨而得到的,該研磨材料是選自下述研磨材料組中的至少一種,并且,該方法經(jīng)由下述工序A~D再生研磨材料,工序A:回收包含使用過的研磨材料的研磨材料漿料的漿料回收工序A;工序B:調(diào)整該回收得到的研磨材料漿料的pH使得其換算成25℃下的pH為7~10的pH調(diào)整工序B;工序C:向該調(diào)整過pH的研磨材料漿料中添加作為無機(jī)鹽的含堿土金屬元素的金屬鹽,使研磨材料凝聚,從母液中分離出該研磨材料并進(jìn)行濃縮的分離濃縮工序C;工序D:對(duì)該分離并濃縮后的研磨材料進(jìn)行固液分離并進(jìn)行回收的研磨材料回收工序D,研磨材料組:氧化鈰、金剛石、氮化硼、碳化硅、氧化鋁、氧化鋁-氧化鋯、氧化鋯。
